干涉顯微鏡
- 產(chǎn)品型號:6JA
- 產(chǎn)品特點:用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。干涉顯微鏡配以各種附件,還能測量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面,同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進(jìn)行測量。干涉顯微鏡測量表面不平深度范圍為1-0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校,科學(xué)研究等單位。
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1、工作條件
1.1 適用于在電源220V(±10%)/50Hz、氣溫攝氏5℃~30℃和相對濕度85%的環(huán)境條件下運(yùn)行。
1.2 建議安放在防震工作臺上,環(huán)境清潔。
2、主要技術(shù)指標(biāo)
2.1. 鏡體
倒置式透反射鏡體,試樣被觀察表面與工作臺表面重合,因此與試樣高度無關(guān),使用方便,儀器結(jié)構(gòu)緊湊,外形美觀大方。
2.2 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
粗微動同軸調(diào)焦.
2.3 光學(xué)校正系統(tǒng):
有限遠(yuǎn)光學(xué)校正系統(tǒng),,物鏡能獨立克服軸向和縱向像差,成像清晰,分辨率高。
2.4 測量參數(shù)
1、測量表面光潔度范圍:10-14
2、工作物鏡的數(shù)值孔徑:0.65
3、工作距離:0.5mm
4、儀器的視場:目視:φ0.25mm
照相:0.21* 0.15mm
5、測微目鏡放大倍數(shù):目視:500X
照相:168X
6、測微目鏡放大倍數(shù):12.5X
7、測微鼓分劃值:0.01mm
8、綠色干涉濾色片波長λ≈5300?
9、半寬度Δλ≈100?
10、工作臺升程:5mm
11、X、Y方向移動范圍≈10mm
12、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動范圍:360?
13、儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡高反射率≈60%
14、低反射率≈4%
2.5 電壓及外形尺寸
可調(diào)變壓器輸入電壓:220V,輸出電壓:4V-6V17、儀器外形尺寸:270*160*230mm
儀器重量≈5公斤。